双氧水？可溶性硅酸盐？

唐少辉虽然发现了这个现象，可是他不是学化学的，可没能力研究这些现象，研究工作都是化学专业的老师教授配合着搞的，对高振东提出来的方案，听是听清楚了，但是离听懂，就很远。

“高总工，这些东西有什么用？您给我说说，我自己是不太懂这方面的，我记下来，到时候我转述给搞化学的同志们的时候，他们也能及早掌握您的思路，工作做起来也顺畅一些。”不懂就问。

此时的唐少辉，对高振东那是佩服得五体投地，他就听了听，想了想，就给了一个方案，别管能不能用，但是那份自信是假不了的。

唐少辉有种预感，高总工提出来的这个方案，多多少少都是有效的。

“先说硅酸盐吧，加它的原因，主要是与氢氟酸反应生成硅酸，以此抑制腐蚀反应的速度，解决你们说的反应速度过快的问题。”

唐少辉一边记，一边笑道：“啊，明白了，就是和反应抢原料嘛，懂了懂了。”高总工说得简单明了，很容易懂，大道至简啊。

高振东笑着点点头：“对，就是这么个道理，至于双氧水，是解决两个问题，一是促进反应，增加孔洞的深度，二是利用双氧水易分解的特性，促进气泡从硅片表面脱离，解决你们说的气泡问题。”

唐少辉连忙记下来，听起来都很有道理的样子，也不知道高总工就这么想一小会儿是怎么想到的。

不过想起他刚才在高总工桌上看到的一本有机化学的书，他好像明白过来，高总工那是一直在不停的学习啊，至于有机化学和无机化学有多少联系，那不管，反正都是化学就对了。

“至于扩孔的反应速度问题，先放一边，你们不是有个除银工序嘛，也加双氧水！”

高振东把唐少辉整得有些蒙蔽，什么都加双氧水是吧？

“这一步，双氧水的易分解特性，产生的气泡对硅片起到漂洗作用，能够更干净的除掉银单质和银离子，同时银离子和双氧水生成的氢氧化银不稳定，容易分解生成水和氧化银，也能有助于沉积的银离子的去除。”

这么短的时间里，唐少辉和搞化学的同志，考虑不到这么深远，所以高振东干脆把他们这个短板补上。

唐少辉麻了，好吧，听起来好像也很有道理的样子。

“你刚才提到的扩孔阶段反应速度过快，容易造成凹孔过大，反而反射率会上升，这个问题啊，你们还是加双氧水，因为这一步不只是氢氟酸这种弱酸，还有硝酸这种强酸，此时，过氧化氢能抑制反应速度。”

又是双氧水！唐少辉彻底麻了。

双氧水是万应灵丹是吧？

高振东补充了一句：“不过你们要注意一点，反射率太小也不是好事，会有热斑效应，反而就把事情办坏了。”

说到这里，他又想起来一个事情：“对了，如果除泡效果还是不好，你们可以用数万Hz的超声波，每隔一段时间，比如几十秒的样子，去冲击一下硅片，冲几秒就行，具体的时间你们在试验中调整。但是切记，不能连续冲击，会对挖孔和扩孔反应产生影响的。”

这个好理解，用超声波把硅片抖一抖，把气泡抖下来，唐少辉在冲击中唯唯诺诺，如实记录。

至于其他的，高振东没有多干涉，自己手上的工艺文件不见得放到现在是最合适的，解决核心问题就行，其他的还是让同志们在现有环境下自行摸索比较好。

唐少辉被高振东的双氧水三连给整懵逼了，直到回到实验室，还有点昏戳戳的。

一位高校支援到课题组来的化学专业的同志，见他回来，兴冲冲的凑上去。